川崎電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

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      川崎晶圓搬運機器人占據(jù)了全球晶圓搬運機械人51%以上的市場份額。

 

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川崎伺服電機R2AA1020AFCPKG 50601-0156參數(shù)：

功率：2.0KW

轉速：3000 min-1

 

      在晶圓切片，晶圓測試、固圓、導線架等工藝時使用二氧化碳雪清洗，可以去除各種污染物。半導體CO2清洗單元使用了川崎機器人與隆深機器人合資的隆崎機器人明星產品SCARA機器人KLS600，配合高精度、高品質核心零部件，保證了設備的穩(wěn)定運行?？蛇m用于3C、半導體行業(yè)，解決了半導體行業(yè)消耗品成本高，清洗效率低等問題。